ویفر های نانو نوری با استفاده از فرآیند نانو لیتوگرافی بر روی ویفر های با قطر 100 یا 150 میلی متر تولید می شوند. تراشه های نانو نوری از ویفر خُرد ایجاد میشوند (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
نکته: برخی از مواد می توانند باعث ایجاد ساختار های منظم و مقیاس نانو در شرایط مناسب و کنترل شده شوند-خود مونتاژ. مشکل این رویکرد عدم انعطاف پذیری در ساختارهای قابل دستیابی و مصالح قابل استفاده است که عملکردهای قابل تحقق را محدود می کند.
نانو لیتوگرافی ، که شبیه به تولید نیمه هادی استاندارد است ، به طور کلی از روش هایی برای ایجاد تصویر در لایه مقاومتی پلیمری استفاده می کند. این تصویر سپس به عنوان ماسک اچ برای انتقال الگوی مقیاس نانو به مواد مورد نظر استفاده می شود. روش های نانو لیتوگرافی شامل لیتوگرافی تداخلی ، لیتوگرافی پرتو الکترون (پرتو الکترونی) و تکرار الگوی نانو (برای تعاریف به نوار کناری ) است. به طور کلی ، هر یک از این روش ها برای برخی از الگوهای نانو ساختار ، مصالح و حجم مورد نیاز بهینه است. به عنوان یک روش تولید ، نانو لیتوگرافی از طیف وسیعی از حالتهای ادغام برای مدارهای نوری پشتیبانی می کند.
دستگاه های نوری یکپارچه و مجموعه های فرعی بر اساس عناصر نانو نوری مزایای مختلفی را درک می کنند. در مقایسه با اپتیک های فله معمولی ، اندازه و ویژگی های نوری آنها باعث می شود هم ترازی در مونتاژ بخشنده تر ، کم کارتر و کم هزینه تر باشد. هنگامی که از نظر فیزیکی با سایر نانو اپتیک ها یا سایر مواد در تولید ترکیب می شود و اپتیک یکپارچه یکپارچه را ایجاد می کند ، این امر ضمن افزایش قابلیت اطمینان ، عوارض و هزینه لمینت چند دستگاه را از بین می برد. همچنین ، دستگاههای نانو آرایه ای آرایه ای را می توان در مدارهای نوری چند پرتو یا چند مسیر استفاده کرد و نیازی به تراز جداگانه اپتیک های گسسته را از بین برد.به طور کلی ، فرایند ساخت عناصر نانو نوری انعطاف پذیر و قوی است ، که باعث صرفه جویی در هزینه فرآیند تولید در ایجاد اپتیک ترکیبی و یکپارچه می شود. مجدداً ، نوری حاصل اغلب کوچکتر ، قوی تر ، کاربردی تر و آسان تر برای جمع آوری است. از آنجا که دستگاههای نانو نوری با استفاده از فرایندهای مبتنی بر ویفر که در ساخت نیمه هادی تولید شده اند ، تولید می شوند ، این امر قابلیت اشتراک گذاری انعطاف پذیر در ظرفیت تولید را فراهم می کند و از توان تولیدی با حجم بالا پشتیبانی می کند.
نانو اپتیک از "واژگان طراحی" رو به رشد استفاده می کند که از نظر عملکردی معادل کتابخانه های طراحی مورد استفاده در برنامه های نیمه هادی است. از عناصر طراحی چندگانه می توان با روشهای پیچیده ، چند مرحله ای و چند فرایند برای ایجاد نانو الگوهای پیچیده و دستگاههای چند لایه استفاده کرد. طیف گسترده ای از الگوهای مختلف ساختار نانو ، مواد و شیوه های ادغام به این معنی است که هیچ محدودیت ذاتی در عملکرد و طول موج عملیاتی دستگاههای نانو نوری وجود ندارد. این ویژگیها تنها بر اساس نیاز های برنامه و مدار نوری هدایت می شوند.
نتیجه گیری :
برخی از مواد می توانند باعث ایجاد ساختار های منظم و مقیاس نانو در شرایط مناسب و کنترل شده شوند-خود مونتاژ. مشکل این رویکرد عدم انعطاف پذیری در ساختارهای قابل دستیابی و مصالح قابل استفاده است که عملکرد های قابل تحقق را محدود می کند.
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک