NEMS و نانو فناوری هـای نـسبت صـورت بـالا ( LIGA-like و LIGA ) یـا (high – aspect ratio) (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
نکته: NEMS و فناوری نانو _ میکرو ماشین کردن ( Micromachining ) سطح و تنه(BULK) ، به علاوه فناوی هـای نـسبت صـورت بـالا ( LIGA-like و LIGA ) یـا (high – aspect ratio) توسعه یافته ترین روشهای ساخت هستند.
سیلیسیم مــاده زیـــر لایــه اولیـــه اســت کـــه در صـــنعت نانو _ میکرو الکترونیک به کار می رود. یک عدد قالب بلور ( اسـتوانه جامـد 300nm قطـر و 100nmطـول نانو متر ) از سیلیکون با درصد خلوص خیلی بالا متبلور شده و در ضخامت مطلوب بریده می شود و سـپس بـه وسـیله فناوری های جَلا دادن مکـانیکی و شـیمیایی ، صـیقلی مـی شـود. خـواص قـرص هـای الکترومغناطیـسی و مکـانیکی بــه جهـت و محـل متبلـور شــدن بلـور و ناخالصی های پیش بینی شده آن است.
NEMS و فناوری نانو _ میکرو یک فرآیند تکنولوژی بر پایه نانو الکترونیک است که بـرای بوجـود آوردن سیستمها و وسایل یکپارچه (مجتمـع) خیلـی کوچک بکارمی رود که از عناصر الکتریکـی و مکـانیکی ترکیـب مـی شـوند. آنهـا بـا اسـتفاده از تکنیک هـای عملیات تک مرحله ای و در سایز های بـین کمتـر از میکرومتر تا میلی متر طبقه بنـدی مـی شـوند . ایـن وسایل یا سیستمها قابلیت Sense و کنترل و actuate کــردن را تــا مقیــاس میکــرو دارنــد و حتــی روی مقیاسهای macro (خیلی بزرگ) نیز کاربرد دارند.واقعیت NEMS و فناوری نانو _ میکرو برای طراحی و مهندسی و سـاختن و اداره کار های تخصــصی از یــک محـدوده متنـوع و گسترده ای از قسمتهایی کـه شـامل IC مـی باشـد مـورد اسـتفاده قـرار مـی گیـرد. ساختن تولیدات مصرفی و صـنعتی دارد (بـا ترکیـب کردن تکنولوژی میکرو مکانیک و میکـرو الکترونیـک سلیکونی) تکنیک های بکار رفته بطور شـگفت انگیـزی بر روی زندگی مـا تـاثیر دارد .اگـر fabrication micro کـردن نیمـه هادیهـا نیز میباشد.NEMS و فناوری نانو _ میکرو یک تکنولوژی سـاختاری اسـت ، نمونـه ای بــرای طراحــی و بوجــود آوردن سیــستمها و ادوات مکانیکی پیچیده به خوبی الکترونیک یکپارچـه شـان که از تکنیکهای ساخت تک مرحله ای استفاده مـیکنند. تکنیکهای ساخت NEMS قادر مـی سـازد کـه اجزا و وسایل با کارایی و قابلیت افزایش یافتـه تولیـد شوند، توأم با مزیتهای معمـولی مثـل کـاهش انـدازه فیزیکی ، حجم ، وزن وهزینه وفراهم کـردن پایـه ای برای ساخت تولیدات غیر قابـل سـاخت بـا روشـهای دیگر میباشد واقعیت نظم داخلـی تکنولـوژی NEMS و تکنیکهـای میکرو ماشین کردن آن به خوبی تنـوع کـاربرد هـای آن منجـر بـه محـدوده بـی سـابقه ادوات NEMS در مقابل زمینه های نابسته قبلی میـشود (بـرای مثـال بیولوژی و میکرو الکترونیک ها) این عاملها NEMS را به مراتب فراگیرتر از تکنولوژی میکرو چیـپ هـای IC مـیسازد.
نتیجه گیری :
NEMS و فناوری نانو _ میکرو ماشین کردن ( Micromachining ) سطح و تنه(BULK) ، به علاوه فناوی هـای نـسبت صـورت بـالا ( LIGA-like و LIGA ) یـا (high – aspect ratio) توسعه یافته ترین روشهای ساخت هستند.
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک