نانو  الکترو‌ لیتوگرافی  نوری Nano -lithography,  چیست ؟؟ (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)



نکته: نانو لیتوگرافی یک اصطلاح گسترده برای توصیف فرآیند های مختلف برای ایجاد الگوهای مقیاس نانو در محیط های مختلف است که رایج ترین آنها مواد نیمه رسانا سیلیکون است.

هدف غالب نانولیتوگرافی کوچک شدن وسایل الکترونیکی است ، که باعث می شود قطعات الکترونیکی بیشتری در فضاهای کوچکتر جمع شوند ، یعنی مدارهای مجتمع کوچکتر که منجر به دستگاههای کوچکتر می شود ، زیرا سریعتر و ارزانتر تولید می شوند زیرا مواد کمتری مورد نیاز است. این امر همچنین باعث افزایش عملکرد و زمان پاسخگویی می شود زیرا الکترونها فقط باید مسافتهای بسیار کوتاهی را طی کنند.





برخی از تکنیک های مورد استفاده در نانولیتوگرافی به شرح زیر است:

_ لیتوگرافی اشعه ایکس-با استفاده از روش چاپ مجاورتی اجرا می شود و به اشعه ایکس نزدیک میدان در پراش فرنل متکی است. رزولوشن نوری آن تا 15 نانومتر افزایش یافته است.

_ الگوسازی دوگانه - روشی که برای افزایش وضوح گام یک فرایند چاپ سنگی با چاپ الگوهای اضافی بین فضاهای الگوهای قبلاً چاپ شده در یک لایه استفاده می شود.

_ لیتوگرافی مستقیم نوشتن پرتو الکترون (EBDW)-رایج ترین فرایندی که در لیتوگرافی مورد استفاده قرار می گیرد و از پرتو الکترون برای ایجاد الگوها استفاده می کند.

_ لیتوگرافی ماوراء بنفش شدید (EUV) - شکلی از لیتوگرافی نوری است که از طول موج های فوق کوتاه نور 13.5 نانو متر استفاده می کند.



نانو لیتوگرافی شاخه ای از فناوری نانو است و نام فرآیند چاپ ، نوشتن یا حکاکی الگوها در سطح میکروسکوپی به منظور ایجاد ساختار های فوق العاده کوچک است. این فرایند معمولاً برای ایجاد دستگاه های الکترونیکی کوچکتر و سریعتر مانند میکرو / نانوچیپ ها و پردازنده ها استفاده می شود. نانو لیتوگرافی عمدتاً در بخشهای مختلف فناوری از الکترونیکی تا زیست پزشکی استفاده می شود.نانو لیتوگرافی هنر ایجاد ساختار ها در مقیاس نانومتری است. این ممکن است برای ایجاد مدارهای یکپارچه و قطعات برای فناوری نیمه هادی استفاده شود ، جایی که توانایی تولید کوچکترین ترانزیستورها و مدارهای ممکن است نه تنها ایجاد دستگاههای کوچکتر را ممکن می سازد ، بلکه می تواند به افزایش بهره وری و عملکرد قطعات کمک کند.پیشرفت در روش های لیتوگرافی همچنین امکان ساخت ساختارهای پیچیده ای را فراهم کرده است که می تواند برای دستگاه های ریز الکترو مکانیکی یا نانو الکترو مکانیکی (MEMS یا NEMS) مورد استفاده قرار گیرد. چنین ماشینهای مینیاتوری قبلاً به عنوان سنسورهای pH و ترانزیستورها مورد استفاده قرار گرفته اند ، اما پیشرفت های زیادی در آینده برای چنین فناوری هایی مانند استفاده از دستگاه ها برای تحویل دارو وجود دارد.



نتیجه گیری :

نانو لیتوگرافی یک اصطلاح گسترده برای توصیف فرآیند های مختلف برای ایجاد الگوهای مقیاس نانو در محیط های مختلف است که رایج ترین آنها مواد نیمه رسانا سیلیکون است.

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)

دکترایِ  تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک