نانو لیتوگرافی پِلاسمونی در حالت تماس ابعاد (کمتر از 2 نانو متر) در ساخت اَدوات و اَفزاره های نانو الکترونیک (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
نکته : برای نانو لیتوگرافی پلاسمونی در حالت تماس ، یک کاوشگر نوری که دارای یک دیآفراگم نانو با قابلیت انتقال بالا و پهن در یک فیلم فلزی است. برای محافظت از دیآفراگم در برابر آلودگی و سایش ، کاوشگر نوری با یک ماده دی الکتریک در سوراخ پر شده و با یک لایه محافظ دی الکتریک پوشانده شده است که ضخامت آن توسط فاصله شکاف بین کاوشگر و بستر تنظیم می شود.
توزیع میدان الکتریکی را در ساختار دیافراگم در هم پیچیده در یک فیلم آلومینیومی در طول موج کمتر از ۲ نانومتر با یک پرتو برخورد قطبی محور مستقیم با استفاده از نانو لیتوگرافی پلاسمونی در حالت تماس ابعاد در ساخت اَدوات و اَفزاره های نانو الکترونیک محاسبه می شود برای شبیه سازی فرآیند واقع گرایانه الگوبرداری بر روی مقاومت در برابر ساخت اَدوات و اَفزاره های نانو الکترونیک شدت موج صفحه برخورد رسانه دی الکتریک شیشه سیلیس است که در طول موج مورد شفاف و به راحتی با های پلاسما رسوب شیمیایی بخار نانو ذرات پوشیده شده است.
با استفاده از میدان الکتریکی موضعی تولید شده توسط نانو دیآفراگم فلزی ، لیتوگرافی پِلاسمونی می تواند به وضوح کوچکتر از حد پراش برسد. به خوبی شناخته شده است که الگوی ثبت شده با دیآفراگم نانو کاملاً متفاوت از الگوی ایجاد شده توسط میدان الکتریکی در یک سیستم لیتوگرافی معمولی است ، زیرا میدان الکتریکی در اطراف دیافراگم در جهت سوراخ دیافراگم در فیلم فلزی به شدت پوسیده می شود. به طبق مدل سازی لیتوگرافی پِلاسمونی ، بین وضوح و عمق الگو از آنجایی که مشخصات الگو با افزایش دوز حادثه بزرگ می شود ، یک مُبادله وجود دارد.عرض و عمق الگوی خط ثبت شده در چندین دوز مختلف نوردهی را ترسیم می کنیم. ما همچنین عرض و عمق را با استفاده از مدل لیتوگرافی پلاسمونی محاسبه می شود . عرض و عمق الگوهای خط تجربی از لحاظ کیفی منحنی های محاسبه شده را دنبال می کنند ، اگرچه اختلافات کوچکی وجود دارد. که نقایص کوچکی در ساخت نانو دیآفراگم فلزی ممکن است انتقال را کاهش داده و باعث ایجاد اندازه نقطه ای کمی بزرگتر با عمق کمتر شود .
نتیجه گیری :
برای نانو لیتوگرافی پلاسمونی در حالت تماس ، یک کاوشگر نوری که دارای یک دیآفراگم نانو با قابلیت انتقال بالا و پهن در یک فیلم فلزی است. برای محافظت از دیآفراگم در برابر آلودگی و سایش ، کاوشگر نوری با یک ماده دی الکتریک در سوراخ پر شده و با یک لایه محافظ دی الکتریک پوشانده شده است که ضخامت آن توسط فاصله شکاف بین کاوشگر و بستر تنظیم می شود.
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک