سیستم های میکرو و نانو الکترو NEMS یک ساختار در مقیاس میکرو یا نانو ابعاد (10 تا 6 نانو متر) (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
نکته: سیستم های میکرو و نانو الکترومکانیکی ( MEMS / NEMS ) دستگاه هایی هستند که در آنها حرکت فیزیکی یک ساختار در مقیاس میکرو یا نانو توسط یک مدار الکترونیکی کنترل می شود یا بَرعکس. می توان از MEMS و NEMS برای ساخت حِسگر های حساس و دستگاه های زمان بندی پایدار استفاده کرد.
سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) ثابت کرده‌اند که کوچک تر کردن، سریع تر و ارزان تر کردن نانو سیستم و نانو ساختار ها موفق عمل میکنند. دستگاه های MEMS امروزی که معمولاً با ابعاد میکرونی (10 تا 6 نانو متر) ساخته می شوند، شامل شتاب سنج هایی برای بازکردن کیسه هوا،سنسور های فشار و دستگاه‌های میکروسیال هستند که می توانند مقادیر بسیار کمی از مواد شیمیایی را جدا و تجزیه و تحلیل کنند. در حال حاضر با قابلیت های نانو ساخت، سیستم های نانو الکترومکانیکی (NEMS) به عنوان آشکار ساز های جرمی با قابلیت وزن کردن تک مولکول ها ساخته می شوند. به عنوان تشدید کننده های فرکانس بالا با حساسیت تا یک میلیارد سیکل در ثانیه. به عنوان سوئیچ های فوق سریع و کم مصرف؛ و به عنوان دستگاه های میکروسیال یکپارچه که قادر به جداسازی، دستکاری و تجزیه و تحلیل سلول های فردی انسان هستند. در مقیاس نانو، فعل و انفعالات معمولی مانند کشش سطحی، نیز امکان پذیر میباشد.
NEMS به واسطه نانو الکترونیک درسیستم هایی که برای کاربرد های دفـاعی، دارویی ، پزشکی، الکترونیکی و مخابراتی و ... دسـته بندی می شوند . NEMS های کنونی که شامل شتاب سنج ها می باشند ، chip هــای نمــایشprojection ، سنسور های پهباد ها ، کلید های نوری، microvalve ها ، بیو سنسور ها و میکرو چیپ های چند منظوره بکار روند که در حجمهای نانو تولیـد مـیشوند. NEMS ها در میکرو ساختار های متحرک ( بـا اجـزاء الکترومکانیکی ) ، حـسگر ها، محرکهـا ، ادوات انـرژی تَشعشعی و میکرو الکترونیک ، مجتمع میـشوند. ایـن NEMS ها می توانند برای اسـتفاده در فنـاوری هـای میکروساخت مختلف مانند میکرو ماشـین هـا سـاخته شوند . فناوری اساسی در سـاخت NEMS ، CMOS هــا و biCOMS هــا ( بــرای ســاخت ICهــا ) ومیکرو ماشــین هــا ( بــرای تولیـد حرکـت و تــابش و تَشعــشع انــرژی بــه ادوات و ســاختار های مقیــاس میکرون ). یکـی از اهداف اصـلی ایـن اســت میکرو الکترونیـک را بــا ادوات و ســاختار های میکـرو ماشین های الکترومکانیکی مکانیکی ، مجتمـع کننـد تا NEMS هایی مجتمع شده و با کارایی بـالا تولیـد کنند. برای تضمین کارایی بالا ، قابلیـت انجـام کـار ، قابلیت اطمینان و قابلیت ساخت ، فرآیندهای ساخت فَله ای بر مبنای CMOS به خوبی توسعه یافته و باید اصلاح شده و افزایش یابد.
نتیجه گیری :
سیستم های میکرو و نانو الکترومکانیکی ( MEMS / NEMS ) دستگاه هایی هستند که در آنها حرکت فیزیکی یک ساختار در مقیاس میکرو یا نانو توسط یک مدار الکترونیکی کنترل می شود یا بَرعکس. می توان از MEMS و NEMS برای ساخت حِسگر های حساس و دستگاه های زمان بندی پایدار استفاده کرد.
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک