_ بخش سیستم های (نانو و میکرو اِلکترومکانیکال MEMS)
سیستم های MEMS نانو الکترونیکی و نانو الکترونـوری
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید )
نکته: MEMS و NEMS های مختلفی با توجه به مشخصات به نیاز هـا ، اهـداف و کاربرد هـا بایـد طراحـی شـوند. MEMS و NEMS های الکترومکـانیکی و الکترونـوری مکانیکی توسعه پیدا کرده اند .معمولا "سیستم هـای نوری سریعتر ، ساده تر و کاراتر ، قابل اطمینان تـر و بادوام تر از سیستم های الکترومکانیکی هـستند.
اگـر چه سیستم هـای نـوری بـرای کاربرد هـای مختلفـی طراحی می شـوند ( ماننـد : ارتباطـات ، محاسـبات و کلیـد زنـی بـی سـیم و غیـره ) ، پیکـر بنـدی هـای متفاوتی دارند در حالت کلی خیلی مشکل اسـت کـه یک مقایسه تطبیقی بین آنها انجام دهیم . برای مثال سیستم های نوری نمی توانند به عنـوان محـرک بـه کار روند . نیاز هـای کـاربردی بایـد شـمارش شـود و اتــصالات الکترومغناطیــسی ، دمــا ، ارتعــاش یــا تشعشعات می توانند فاکتور های مورد اسـتفاده بـرای ساخت بهتر باشند. به عنوان یک مثال دیگـر نگـاهی به محرکهای مقیاس نانو و میکرو می اندازیم . اندازه محرک به انبوهی نیرو یا گشتاور که تابع مـاده به کار رفته و اندازه ( حجم ) آن است ، بستگی دارد . در واقع اندازه با نیرو و گشتاور مورد نیاز و جـنس آن تعیین می شود. ایـــن موضـــوع کـــه MEMS الکترو مغناطیـــسی ،میکرو ساختار ها یا میکرو ترانس دیوسدهایی را که با IC های بـه کـار رفتـه در مییکـرو ادوات انـرژی تابـشی کنترل می شوند ، مجتمـع مـی کننـد ، بـسیار مهـم اســـت . بدینگونـــه میکـــرو ســـاختار ها و میکـــرو ترانـس دیوسدها ،ادوات انـرژی تابـشی و IC هـا بایـد مجتمع شوند .فناوری اتصال تراشه مستقیم بـه طـور وسیعی پیشرفت کرد. به ویژه مجموعه MEMS هـای chip - flip جایگزین شد با نوار سیمی تا به IC هـا بـا محرکها و حسگرهای مقیاس میکرو _ نانو متصل شـوند. استفاده از فناوری chip - flip امکـان رفـع القاگرهـا وخازنها و مقاومت های پارازیتی را میدهد.
این موضوع اصلاح مشخصات وسیله را منجر مـی شـود.در ادامـه مجتمع سازی chip -flip مزایایی در پیاده سازی بسته های انعطاف پـذیر پیـشرفته ، پیـشرفت هـای قابـل اطمینـان و کـاهش وزن و انـدازه و.... را منجـر مـیشود. chip - Flip مجتمع شده، میکروترانـسدیوسدها می توانند همراه با برآمدگی و رو به پـایین روی لایـه هایی که روی ادوات الکترومکانیکی سـوار شـده و بـه پایه IC متصل است ،نصب شوند MEMS مجتمع مقیاس بزرگ ( یک عدد تراشـه کـه می تواند به صورت عمده تولید شود و بـا هزینـه کـم که در COMS به کـار میـرود.
نتیجه گیری :
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک