روش الگوسازی نانو لیتوگرافی UV در ساخت ادوات و افزاره های نانو الکترونیک (بیشتر ادوات نانو نوری) طول موج حدود 400 نانومتر (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)



نکته: روش الگوسازی نانو لیتوگرافی UV در ساخت ادوات و افزاره های نانو الکترونیک (بیشتر ادوات نانو نوری) است. این روش از اشعه ماوراء بنفش با طول موج حدود 400 نانومتر استفاده می کند. 

از آنجا که طول موج مورد استفاده ، تا حدودی حداقل عرض خط را تعیین می کند ، طول موجهای کوتاه تری برای تولید ساختار های کوچکتر مورد نیاز است. لیتوگرافی عمیق UV از لیزرهایی با طول موج 193 نانو متر استفاده می کند و می تواند ویژگی های زیر 50 نانومتر را تولید کند. اشعه ماوراء بنفش (13.5 نانومتر) و اشعه ایکس نیز استفاده میشود. روش های عمیق UV ، اشعه ماوراء بنفش شدید و اشعه ایکس می توانند ساختار هایی در مقیاس نانو متری ایجاد کنند ، اما به دلیل هزینه ابزار ها گران هستند. الزامات خاصی که برای ماسک های نوری و مقاوم در برابر عکس استفاده می شود هزینه ها و پیچیدگی روش ها را افزایش می دهد.





 به راحتی الگو های تداخل با ابعاد مفید را با استفاده از منابع نور UV ایجاد می کند. مزیت این روش سادگی است. مشکل در ایجاد اشکال و آرایه های پیچیده است.نانو لیتوگرافی شاخه ای از فناوری نانو است که به مطالعه و کاربرد ساخت ساختار های مقیاس نانو متر می پردازد-به معنی ایجاد الگو هایی با حداقل یک بعد جانبی بین اندازه یک اتم جداگانه و تقریباً 100 نانومتر. از آن در ساخت مدار های مجتمع نیمه هادی پیشرو (نانو مدار) یا سیستم های نانو الکترو مکانیکی (NEMS) استفاده می شود.نانو لیتوگرافی یک اصطلاح گسترده برای توصیف فرایندهای مختلف برای ایجاد الگوهای مقیاس نانو در محیط های مختلف است که رایج ترین آنها مواد نیمه رسانا سیلیکون است. هدف غالب نانولیتوگرافی کوچک شدن وسایل الکترونیکی است ، که باعث می شود قطعات الکترونیکی بیشتری در فضاهای کوچکتر جمع شوند ، یعنی مدارهای مجتمع کوچکتر که منجر به دستگاههای کوچکتر می شود ، زیرا سریعتر و ارزانتر تولید می شوند زیرا مواد کمتری مورد نیاز است. این امر همچنین باعث افزایش عملکرد و زمان پاسخگویی می شود زیرا الکترونها فقط باید مسافتهای بسیار کوتاهی را طی کنند.



نتیجه گیری :

روش الگوسازی نانو لیتوگرافی UV در ساخت ادوات و افزاره های نانو الکترونیک (بیشتر ادوات نانو نوری) است. این روش از اشعه ماوراء بنفش با طول موج حدود 400 نانومتر استفاده می کند. 

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)

دکترایِ  تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک