کاربرد کلاسیک نانو لیتوگرافی ساخت مدار های مجتمع و سایر دستگاه های نانو الکترونیکی (حداکثر50 نانو متر) (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
نکته : کاربرد کلاسیک نانو لیتوگرافی ساخت مدارهای مجتمع و سایر دستگاه های الکترونیکی است که در آن لیتوگرافی نوری گسترده است. علاوه بر این ، انواع مختلفی از تکنیک های نانو لیتوگرافی در فعالیت های تحقیقاتی با هدف الگوسازی مواد و تحقق نمونه اولیه و دستگاه های اثبات مفهوم استفاده می شود.
روش های کاربرد کلاسیک نانو لیتوگرافی روی یک بستر اسپین با توجه به فعل و انفعالات خاص بین این پلیمرها و بستر ، در شرایط خاص ، دو نوع پلیمر تمایل به ایجاد الگوی در هم تنیده میشود ، یک نظم محلی بین هر دو پلیمر وجود دارد و دامنه هایی مانند نانوسیم را با دوره ای در محدوده 50 نانومتر تشکیل می دهد. این الگو بسیار مفید خواهد بود اگر متعاقباً کاربرد کلاسیک نانو لیتوگرافی که پس از فرود روی لایه به دلیل تحرک نفوذ کمتر ، تمایل به تجمع در بالای پلیمر دارد. بنابراین ساختار نازک زیرین داربست پلیمری را دنبال می کند که بدون اختلال در طول میکرون های مختلف گسترش می یابد. با این حال ، نانوسیم های شکل گرفته برخی ویژگی های ناخواسته را به عنوان نگاهی دقیق تر آشکار می کند ناهمواری قابل توجهی در ساخت نانو سیمها مشاهده می شود ، همچنین نانو سیمها در نقاط خاصی قطع می شوند و از شکل مستقیم انحراف می یابند ، که همه آنها به طور معمول منشاء وخامت خواص فیزیکی نانو سیم ها هستند. علاوه بر این ، سفارش دوربرد آرایه نانو سیم های ساخته شده به دنبال این استراتژی به دست نمی آید ، که در کاربرد های خاصی مانند صنایع نیمه هادی ضروری است.
با توجه به برهم کنش بین نانو ذرات ، آنها می توانند خود را سازماندهی کرده و یک لایه نازک ایجاد کنند که بین آنها سوراخ ایجاد می کند ، این تکنیک در ابتدا سنگ نگاری طبیعی نامیده شد . با توجه به ماهیت یکپارچگی ذرات کلوئیدی و ویژگی آب دوست آنها ، آنها یک کریستال کلوئیدی با حفره های مرتب شده تشکیل می دهند که از طریق آنها مواد مورد علاقه نفوذ کرده و روی بستر رسوب می کنند. به عنوان مثال ، می توان از نانو کُره های لاتکس پلی استایرن استفاده کرد. مواد رسوب شده بر روی نانو ذرات پس از غوطه ور شدن نمونه در حلال مناسب و فراصوت شدن ناپدید می شوند. این فرایند شبیه یک فرآیند برداشتن است . از مزایای این تکنیک می توان به اُلگو های وسیع ، سادگی ، وضوح خوب و قابلیت ترکیب با سایر تکنیک های لیتوگرافی اشاره کرد. از سوی دیگر ، این تکنیک با توجه به اشکال محدود موجود برای مواد کاربردی الگو دار ، ترتیب برد نانو الگوها و وجود نقص نقطه ای ، مشکلاتی را ایجاد می کند.
نتیجه گیری :
کاربرد کلاسیک نانو لیتوگرافی ساخت مدارهای مجتمع و سایر دستگاه های الکترونیکی است که در آن لیتوگرافی نوری گسترده است. علاوه بر این ، انواع مختلفی از تکنیک های نانو لیتوگرافی در فعالیت های تحقیقاتی با هدف الگوسازی مواد و تحقق نمونه اولیه و دستگاه های اثبات مفهوم استفاده می شود.
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک