(نانو الکترونیک) اصول ساخت و دسته بندی NEMS ها (دکترای میکرو _ نانو الکترونیک)

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)



نکته؛ NEMS به واسطه نانو الکترونیک در سیستمهایی که برای کاربرد های دفـاعی، دارویی ، پزشکی،الکترونیکی و مخابراتی و ... دسـته بندی می شوند . NEMS های کنونی که شامل شتاب سنج ها می باشند  ، chip هــای نمــایشprojection ، سنسور های پهباد ها ، کلید های نوری، microvalveها ، بیو سنسورها و میکرو چیپ های چند منظوره بِکار روند که در حجم های  نانو تولیـد مـیشوند. 

NEMS ها در میکرو ساختار های متحرک ( بـا اجـزاءالکترومکانیکی ) ، حـسگرها، محرکهـا ، ادوات انـرژی تشعشعی و میکرو الکترونیک ، مجتمع میـشوند. ایـنNEMSها می توانند برای اسـتفاده در فنـاوری هـایمیکروساخت مختلف مانند میکروماشـین هـا سـاختهشوند . فناوری اساسی در سـاخت NEMS ، CMOS هــا و biCOMS هــا ( بــرای ســاخت ICهــا ) و میکرو ماشــین هــا ( بــرای تولیـد حرکـت و تــابش وتشعــشع انــرژی بــه ادوات و ســاختار های مقیــاس میکرون ). یکـی از اهداف اصـلی ایـن اســت میکروالکترونیـک را بــا ادوات و ســاختارهای میک ـرو ماشین های الکترومکانیکی مکانیکی ، مجتمـع کننـد تا NEMS هایی مجتمع شده و با کارایی بـالا تولیـدکنند. ببرای تصین کارایی بالا ، قابلیـت انجـام کـار ، قابلیت اطمینان و قابلیت ساخت ، فرآیندهای ساخت فله ای بر مبنای CMOS به خوبی توسعه یافته و بایداصلاح شده و افزایش یابد.



میکروماشین کردن ( Micromachining ( سطح و تنه(BULK، ( بعلاوه فناوی هـای نـسبت صـورت بـالا( ، ( LIGA-like و LIGA ) یـا ) high – aspect ratio توسعه یافته ترین روشهای ساخت هستند. سیلیسیم مــاده زیـــر لایــه اولیـــه اســت کـــه در صـــنعت میکروالکترونیک به کار می رود. یک عدد قالب بلور ( اسـتوانه جامـد 300mm قطـر و 100mmطـول ) ازسیلیکون با درصد خلوص خیلی بالا متبلور شده و درضخامت مطلوب بریده می شود و سـپس بـه وسـیله فناوریهای جلا دادن مکـانیکی و شـیمیایی ، صـیقلی مـی شـود. خـواص قـرص هـای الکترومغناطیـسی ومکـانیکی بــه جهـت و محـل متبلـور شــدن بلـور و ناخالصی های پیش بینی شده آن است. بسته به زیـرلایـه سـیلیکونی ، فرآینـدهای CMOS و biCMOS برای تولید IC ها استفاده می شـوند و فرآینـدها ردهبندی شده اند مانند : چشمه n ) well-n ، ( چشمه p( well-p ( یا چشمه توام (well- twin .(مراحل اصـلیعبارتنـــد از : پخـــش (diffusion(اکـــسیداسیون(oxidation ، (آرایش دریچه پلی سیلیکون( polysilicon، (photolithography) نوری حکاکی) ،gate formationsماسک زدن ( Masking ، (سیاه قلـم زدن ( etching، (فلز کردن(metallization ، (پیوسـتگی سـیمی ( wirebonding ، (و غیره میباشد.



نتیجه گیری : 

NEMS به واسطه نانو الکترونیک در سیستمهایی که برای کاربرد های دفـاعی، دارویی ، پزشکی، الکترونیکی و مخابراتی و ... دسـته بندی می شوند . NEMS های کنونی که شامل شتاب سنج ها می باشند  ، chip هــای نمــایشprojection ، سنسور های پهباد ها ، کلید های نوری، microvalveها ، بیو سنسورها و میکرو چیپ های چند منظوره بِکار روند که در حجم های  نانو تولیـد مـیشوند. 

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)

دکترایِ  تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک