ادوات نانو MEMS و دسته بندی  سنسور های MEMS بر پایه نانو الکترونیک (مهندسی میکرو _ نانو الکترونیک)

پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)


نکته: MEMS یک فرآیند تکنولوژی بر پایه نانو الکترونیک است که بـرای بوجـود آوردن سیستمها و وسایل یکپارچه (مجتمـع) خیلـی کوچک بکارمی رود که ازعناصر الکتریکـی و مکـانیکیترکیـب مـی شـوند. آنهـا بـا اسـتفاده از تکنیکهـای عملیات تک مرحله ای و در سایزهای بـین کمتـر از میکرومتر تا میلی متر طبقه بنـدی مـی شـوند . ایـن وسایل یا سیستمها قابلیت Sense و کنترل و actuate کــردن را تــا مقیــاس میکــرو دارنــد و حتــی رویمقیاسهای macro) خیلی بزرگ).

واقعیت MEMS برای طراحی و مهندسی و سـاختن و اداره کاره ـای تخصــصی از یــک محـدوده متنـوع وگسترده ای از قسمتهایی کـه شـامل IC مـی باشـد مـورد اسـتفاده قـرار مـی گیـرد. ساختن تولیدات مصرفی و صـنعتی دارد (بـا ترکیـبکردن تکنولوژی میکرو مکانیک و میکـرو الکترونیـکسلیکونی) تکنیکهای بکار رفته بطور شـگفت انگیـزی بر روی زندگی مـا تـاثیر دارد .اگـر fabrication micro کـردن نیمـه هادیهـا نیز میباشد.


واقعیت نظم داخلـی تکنولـوژی MEMS و تکنیکهـای میکرو ماشین کردن آن به خوبی تنـوع کـاربرد هـای آن منجـر بـه محـدوده بـی سـابقه ادوات MEMS در مقابل زمینه های نابسته قبلی میـشود (بـرای مثـال بیولوژی و میکروالکترونیک ها).این عاملهاMEMSرا بهمراتب فراگیرترازتکنولوژی میکروچیـپ هـای IC مـیسازد.


دسته بندی  سنسور های MEMS بر پایه نانو الکترونیک

نانو سنسور های MEMS بر اساس پارامتر های زیر دسته بندی میشوند :

Trancducer : یا مبدل وسیلهای است که شکلی از سیگنال یا انرژی را به شکل دیگری تبدیل میکند و شامل سنسورها و Actuatorها است که در MEMS استفاده میشود. 

Sensor : وسیلهای است که اطلاعات را از محیط اطراف اندازهگیری میکند و در پاسخ به پارامتر مورداندازه گیری میدهد. چندین سال پیش،این اطلاعات(یا پدیدهها) را در بخشهایی از نوعی انرژی طبقه بندی میکردند ولی ادوات MEMS بطور عمومیچندین حوزه را پوشش میدهند.(یا حتی به یکطبقه متعلق نمیباشند) 

Actuator : وسیلهای است که یک سیگنال الکتریکی را به عملی تبدیل میکند و میتواند نیرویی را بوجود آورد که خود، وسایل مکانیکی دیگر یا محیط اطراف را تحت نفوذ قرار دهد تا عمل مفیدی را انجام دهد. 

 به منظور کنترل سیستم ها بسیاری از کارها و متغییرهای تصمیم ساز( حالات ، خروجی ها ، وقـایع و ... ) باید اندازه گیره شوند.به این معنی که بـه کـار انـــداختن و حـــس کـــردن ( کـــه بـــه وســـیله میکرو ترانـسدیوسدها ی مجتمـع در ICهــا و ادوات انـرژی تشعـشعی انجـام مــی شــود ) ، محاســبات ،ارتباطــات ، کاره ـای مربـوط بــه شــبکه ، پــردازش سیگنال و اعمال دیگر باید انجـام شـوند.


  • پژوهشگر و نویسنده:  دکتر  (  افشین رشید)


    •