سیستم های نانو و میکرو الکترومکانیکال MEMS (دکترای نانو _ میکرو الکترونیک)
نکته: MEMS که میکرو ادوات متحرک مانند ( محرک هـا و حـسگرها ) ، میکـرو ادوات تابنـده انـرژی ( ماننـد آنتن ها ، میکرو ساختار ها و سیم پیچ ها ) ، مـدار های حسگر محرک مقیاس میکـرون و مـدار های مجتمـع پردازش کنترل ، را مجتمع می کند به طـور وسـیع استفاده می شود.
سیستم های نانو و میکرو الکترومکانیکال و ادوات ابزار دقیـق و انـدازه گیـری (حالات مختلف صنعت) ، کامپیوتر های با کـارایی بـالا که در طراحـی نـرم افـزار و محـیط مـؤثر محاسـبات استفاده می شوند. طراحـی سیـستم هـای مقیـاس میکـرو نـانو ، زیـر سیستم ها ، ادوات و ساختار را بدون یکی کردن آنهـا و همکاری های منظم ، آماده مجتمع سـازی پدیـده های جدید و فرآیند های پیچیده کند.میکرو الکترومکانیکال سیـستم هـا(MEMS) ، مجتمـع سازی عناصـر مکـانیکی ، سنـسور ها ، محرک ها و ادوات نانو الکترونیک روی پایـه سـیلیکونی به وسـیله تکنولـوژی ساخت در حد ابعاد نانو میکرون اسـت . مادامی کـه ادوات الکترونیک برای استفاده در رشـته فرآینـد مـدارهای مجتمع ( IC) سـاخته مـی شـوند ( ماننـد فرآینـد اجـزاء ) ، " BICMOS ، Bipolar ، CMOS سـاختن میکرو مکانیکال " برای استفاده در فرآیند های میکرو ماشین کردن سـازگار و مناسـب بـا آن کـه بـه طـور انتخابی قسمت به قسمت با قرص های سیلیکونی یـا افزودن لایه های ساختمانی جدید بـرای شـکل دادن ادوات مکانیکال و الکترو مکانیکال استفاده مـی شـود ، ساخته می شوند .
مدارهای مجتمع میکروالکترونیک می تواند به عنـوان مغز متفکر یک سیستم در نظر گرفته شود و MEMS این قابلیت تصمیم گیری را با چـشم هـا و بازوهـایی زیاد کرده تا به میکرو سیستم ها اجازه دهد تا محیط به وسیله اندازه گیری مکانیکی ، دمایی ، بیولوژیکی شیمیایی ، نوری و مغناطیسی جمع آوری می کننـد. الکترونیک سپس اطلاعات گرفته شده از حـسگر ها و از طریق بعضی تصمیم گیری ها به بازو ها برای واکـنش نشان دادن به وسیله حرکت کردن ، تثبیت موقعییت، تنظیم کردن ، پمپ کردن و فیلتر کردن دستور میدهد. در نتیجه کنتـرل محـیط بـرای خواسـته هـای مطلوب انجام می شود. در هـر ســطح از سلـسله مراتـب طراحــی ، کــارآیی سیستم در قلمرو رفتار آن برای ارزیابی ،بهینه سـازی و تصحیح فرآیند بهیینه سازی و ترکیب استفاده مـی شود تا راه حل های جدیـد پیـدا شـود . IC هـا بایـد مشخصه های عملکرد MEMS مانند کنتـرل ادوات و ســاختار های الکترومکــانیکی مبتنــی بــر الکتــرومغناطیس ، کانالهـای ورودی - خروجـی ، تبـدیلات آنالوگ به دیجیتـال و دیجیتـال بـه آنـالوگ ، فیلتـر کردن ، استفاده از داده ها و غیره را تـضمین کننـد
نتیجه گیری :
برای اینکه ادوات MEMS برای استفاده در شیوه های ساخت گروهی مانند مـدارهای مجتمـع سـاخته مـیشـوند ، سـطوح جدیـدی از قابلیـت انجـام وظیفـه ،قابلیت اطمینان و مهارت می توانـد روی یـک تراشـه سیلیکونی کوچک با یک هزینـه نـسبتا "پـایین قابـل دسترسی باشد.
پژوهشگر و نویسنده: دکتر ( افشین رشید)
دکترایِ تخصصی نانو _ میکرو الکترونیک